After the intricate patterns of a circuit are etched into a silicon wafer, the protective photoresist mask-a layer of tough, cross-linked polymer-must be completely and cleanly stripped away. This is accomplished in a hot bath of powerful, aggressive organic solvents, often heated to over a hundred degrees Celsius. The immersion heater inside this volatile, corrosive chemistry must be made of a material that the solvents cannot dissolve, swell, or contaminate. PTFE is that chemically mute, inert material.
Uloga PTFE grijača u uklanjanju fotootpornosti
Kupka za skidanje obično se sastoji od mješavine rastvarača kao što je N-Metil-2-pirolidon (NMP), dimetil sulfoksid (DMSO) i jakih alkalnih amina, zagrijanih na 80-110 stepeni. PTFE potopni grijač je standardni izbor za ovu primjenu. Njegov hemijski inertan omotač je u potpunosti otporan na agresivne rastvarače, koji bi inače napali standardnu plastiku i korodirali metale.
PTFE grijač pruža čistu, stabilnu i preciznu toplinu bez otpuštanja metalnih jona ili drugih zagađivača koji bi se mogli taložiti na netaknutu površinu pločice. Ne-glatka PTFE površina otporna je na nakupljanje otopljenog fotootpornog ostatka, održavajući savršeno čistu površinu grijanja tokom ponovljenih ciklusa. Proces odstranjivanja vafla fotootpornog grijača PTFE osigurava ujednačenu distribuciju temperature i minimizira lokalizirano ključanje ili udarce koje bi mogle poremetiti osjetljive oblatne.
"PTFE grijač je kemijski tihi, vrući prst u kadi sa snažnim rastvaračima, koji skida masku bez ostavljanja ijednog traga o sebi, dok održava oblatu netaknutom i električno besprijekornom."
Safety Considerations
Smjesa rastvarača je zapaljiva, toksična i često radi blizu svoje tačke ključanja. Pravilan dizajn rezervoara, uključujući zatvorena kućišta, uzemljenje i ventilaciju, obavezan je da bi se sprečila opasnost od požara, izlaganja pari ili elektrostatike. Potrebne su konzervativne gustoće u vatima kako bi se održalo kontrolirano grijanje i izbjeglo nabijanje otapala ili lokalizirano pregrijavanje na PTFE omotaču.
Operativne prednosti
Upotreba PTFE grijača u ovom procesu omogućava:
Hemijska otpornost na agresivne mješavine rastvarača.
Održavanje apsolutne čistoće vafla i električnog integriteta.
Dugoročna-pouzdanost bez korozije ili degradacije.
Ravnomjerno,-zagrijavanje bez ostataka kritično za-proizvodnju poluprovodnika visokog prinosa.
Zaključak
PTFE imerzioni grejač je kritičan, hemijski imun izvor toplote koji omogućava čisto, potpuno uklanjanje fotorezista sa pločica u proizvodnji poluprovodnika. Pružajući stabilnu toplinu-bez zagađivača u visoko agresivnoj kupki rastvarača, PTFE grijač osigurava atomsku čistoću koja je neophodna za modernu mikroelektroniku. Savršena, besprijekorna površina kompjuterskog čipa postiže se kombinacijom kemijske agresije i inertnog, pouzdanog grijanja.
